应用描述:
半导体清洗设备（Wet Bench / Single Wafer Cleaner）的导轨选型需求，这类设备因长期接触DI水（去离子水）、酸碱药液（HF/H₂SO₄/SC-1等）、高温水汽及IPA蒸气，对导轨的要求与普通自动化设备截然不同。
行业痛点：
传统滚珠导轨1.耐腐蚀性能不好2.油脂释气3.会产生低微粒4.难维护
解决方案：
采用智鑫航真空滚轮导轨
· 耐腐蚀耐高温：特殊材料全不锈钢滚轮导轨，全不锈钢版+特殊密封，耐酸碱去离子水
· 低微粒产生：90°V型线接触结构摩擦系数低（0.003～0.005），磨损微粒极少，开放式结构无积屑死角，微量磨屑易被真空系统抽走，符合Class 100～1000洁净室要求
· 免维护：高真空腔体内不便频繁破真空维护，滚轮导轨无需补加润滑脂，适合长期免维护运行
客户获益
传统的滚珠导轨，无法使用。采用智鑫航滚轮导轨目前使用两年无故障。减少维护，维修大量成本。
