3 号真空滚轮导轨在光学航天望远镜镜片切换机构的应用案例
行业痛点 光学航天望远镜设备需要完成十多种不同厚度光学镜片的切换作业，单片镜片负载 50kg，机构需在真空舱内部、25℃低温环境下运行。 普…
真空滚轮导轨在卫星光伏太阳翼多节伸缩机构的应用案例
项目概况 本项目配套卫星光伏太阳翼多节伸缩机构。太阳翼完全展开后，光伏板总长度达到 26 米，伸缩导轨系统需要承载 130kg 负载。机构在…
三号真空滚轮导轨在真空光学镜片镀膜设备切换机构的应用案例
项目概况 本项目配套一台真空光学镜片镀膜设备。设备需要兼容多种不同尺寸的镀膜工件，工件的进出与换位依靠抽拉切换机构完成，机构最大承载 100…
滚轮导轨在半导体光刻机移载台中的应用
应用背景 光刻机是半导体制造的核心设备，其外围移载链路直接影响产线节拍与良率。智鑫航滚轮导轨的应用场景覆盖：EFEM 前端模块、FOUP 装…
径向 700kg・耐 280℃・UHV 真空：真空滚轮导轨用于磁控溅射镀膜机溅射靶 XYZ 三轴机构
行业痛点 磁控溅射镀膜机的溅射靶 XYZ 三轴机构——X 轴靶位横移、Y 轴抽拉换靶、Z 轴间距调节——长期受「真空、高温、大承载」三重难题…
滚轮导轨在半导体设备检修搬运工装中的应用
应用背景 半导体设备的日常检修与搬运需要大量专用工装：设备侧面检修滑车、FOUP/光罩搬运推车、腔体门阀检修拖架、机台底部托盘移出工装等。这…
智鑫航滚轮导轨在光伏PVD硅片机械手的应用案例
行业痛点 光伏硅片镀膜、扩散、刻蚀等核心工艺，均需在高温150℃、高真空10⁻⁴Pa密闭腔室内完成物料传输。设备平移机械手负责腔体内硅片高精…
直拉单晶炉滚轮导轨应用方案
行业痛点 高端直拉单晶炉提拉、坩埚升降机构长期面临热辐射交变工况。传统滚珠导轨材质热膨胀差异大，升温易出现卡滞 […]
滚轮导轨在半导体清洗设备中的应用
应用描述: 半导体清洗设备（Wet Bench / Single Wafer Cleaner）的导轨选型需求， […]
滚轮导轨在离子注入机上使用
应用描述: 离子注入机内部存在高真空（10⁻⁵～10⁻⁶ Pa）、高能离子辐射、需防油脂释气污染晶圆等严苛工况 […]
滚轮导轨在真空镀膜设备的应用
应用描述: 真空镀膜设备中是专门针对高温、真空，及洁净度要求 应用难点： 传统滚珠导轨在该场景下释放气体污染真 […]
滚轮导轨在离子溅射设备中的应用
应用描述: 离子溅射设备中，传动机构需在10⁻⁵Pa 高真空、100℃ 高温及超高洁净度环境下运行。 应用难点 […]
