应用描述:
离子注入机内部存在高真空（10⁻⁵～10⁻⁶ Pa）、高能离子辐射、需防油脂释气污染晶圆等严苛工况
行业痛点：
传统滚珠导轨1.高真空难以实现2.油脂释气3.会产生低微粒4.难维护
解决方案：
采用智鑫航真空滚轮导轨
· 真空兼容性：提供UHV级版本，导轨/滚轮采用AISI 440C或420全不锈钢，经特殊钝化处理，放气率低，可耐受10⁻⁹ mbar超高真空，支持MoS₂/石墨固体润滑或完全无脂干运行，避免油脂挥发污染腔体
· 耐离子辐射与高温：440C材质经热处理后耐辐射性能优于普通304不锈钢，可适应离子束附近工作环境及250℃以上真空烘烤
· 低微粒产生：90°V型线接触结构摩擦系数低（0.003～0.005），磨损微粒极少，开放式结构无积屑死角，微量磨屑易被真空系统抽走，符合Class 100～1000洁净室要求
· 免维护：高真空腔体内不便频繁破真空维护，滚轮导轨无需补加润滑脂，适合长期免维护运行
客户获益
传统的滚珠导轨，无法使用。采用智鑫航滚轮导轨目前使用两年无故障。减少维护，维修大量成本。
