| 一、行业痛点 |
| 客户半导体设备抽拉检修工装需适配千级洁净室，且工装可脱轨分体维修。传统滚珠导轨需加注润滑油，易产生粉尘油污污染晶圆；滑块轨道一体锁死，无法快速分离，同时难以匹配半导体高稳定、高安全运行标准。 |
| 二、解决方案 |
| 智鑫航定制无尘特制滚轮导轨： |
| 特制材质，V 型滚轮免油脂润滑，发尘量极低，符合千级洁净标准； |
| 滚轮非锁死咬合结构，工装抽拉后可整体脱轨拆分，方便单独检修； |
| 偏心预紧结构，运行平稳刚性足，持久耐用，满足半导体严苛可靠性要求。 |
| 三、客户获益 |
| 无尘无油污污染，保障晶圆良率； |
| 工装快速分体拆装，大幅压缩设备停机检修时长； |
| 耐磨寿命长、免日常补油，运维成本更低 |
