应用描述:
离子溅射设备中，传动机构需在10⁻⁵Pa 高真空、100℃ 高温及超高洁净度环境下运行。
应用难点：
超高真空兼容、防污染、耐高温以及精密运动控制
解决方案：
智鑫航真空滚轮导轨
1.超高真空兼容（10⁻⁷Pa）：采用 420C 不锈钢材质，无释气风险，确保真空环境稳定。
2.免润滑与洁净设计：滚轮采用超低发尘油脂（高温释气率低于 0.01%），部分型号支持全干摩擦或固体润滑（如 MoS₂ 镀膜），杜绝油蒸气污染。
3.自清洁与防颗粒：独有的90°V型滚轮结构是线接触，滚动时可自动刮除表面沉积的薄膜材料或杂质，开放式结构也避免颗粒积存研磨，生成的金属碎屑极易被真空泵抽走
4.靶材定位机构：控制溅射靶材的旋转或平移，其高刚性结构可承载靶材重量，帮助镀膜厚度不均匀性从±3%优化至±1.5%
5.耐高温与高精度：特殊热处理工艺确保 100℃~260℃ 高温下不变形；偏心轮预紧设计实现零间隙、高刚性，重复定位精度可达 ≤±0.03mm。
选用智鑫航滚轮导轨的原因:
1.稳定性：长期保持 10⁻⁵Pa 以上真空环境，无释气。
2.洁净度：零颗粒污染，符合 ISO Class 4 级洁净室标准。
3.耐高温，以及高精度。
