
应用描述:
真空镀膜设备中是专门针对高温、真空,及洁净度要求
应用难点:
传统滚珠导轨在该场景下释放气体污染真空、产生颗粒物等痛点。
解决方案:
智鑫航耐高温滚轮导轨
极低的放气率:采用440C,420C不锈钢材料,同时能耐受高温烘烤(通常150°C – 200°C),并且在真空室内不释放气体,否则会污染真空环境,延长抽真空时间,并最终影响薄膜纯度和质量。
高可靠性与长寿命:真空室一旦抽真空,维修和维护极其困难且成本高昂。运动部件必须保证长期(数月甚至数年)免维护、无故障运行。
清洁无污染:不能产生颗粒物(磨屑、油脂)。任何微小的颗粒掉落在基片或镀膜源上,都会导致产品报废
高精度与平稳性:运动需要平稳、无爬行、无振动,以确保镀膜厚度的均匀性和一致性。无需或极少润滑:传统的油脂润滑在真空中会挥发,污染真空室和膜层。固体润滑剂可能产生颗粒。
总结
智鑫航的滚轮导轨通过其无需润滑、极低放气、高清洁度、高刚性、长寿命和免维护的特点,完美地解决了光学真空镀膜设备中对运动系统的核心痛点。
它们不再是简单的“运动零件”,而是保障设备长期稳定运行、生产高良率、高性能光学薄膜产品的关键基础部件。选择一款高性能、高可靠性的真空级滚轮导轨,对于镀膜设备制造商和用户来说,都是一项至关重要的投资。
