应用描述:
圆晶传送设备大气机械手（EFEM）、真空传输腔体、晶圆盒（FOUP）搬运及光刻机载具传动等关键环节
行业痛点：
超高洁净度、真空兼容性、微振动控制与高精度定位这四大半导体行业的核心痛点
解决方案：
采用智鑫航不锈钢真空滚轮导轨
· 超高洁净与低发尘：采用全不锈钢材质与电解抛光处理（Ra≤0.2μm），配合密封结构防止微粒脱落，能满足 ISO Class 4级及以下 的洁净室标准，避免金属离子与颗粒污染晶圆。
· 真空环境兼容：提供UHV（超高真空）级产品，材料放气率极低（<10⁻⁶ Torr·L/s·cm²），部分型号采用 MoS₂固体润滑或自润滑轴承，无需油脂即可在10⁻⁷Pa至10⁻⁵Pa真空度下稳定运行，避免油蒸气污染工艺腔体。
· 高精度与抗微振：精密加工确保重复定位精度 ≤±0.03mm，V型滚轮线接触结构刚性好，能消除“粘滑现象”，在高速启停（如1.5m/s传输300mm晶圆）时降低抖动，防止晶圆偏移或隐裂。
客户获益
设备故障率大幅降低，优先评估连续运行10万次以上确保长期精度保持性。
同时再传输系统实现连续高节奏运行且维护周期延长至6个月左右。减少维护成本。
