应用描述:
在半导体光刻工艺中，传动机构需在10⁻⁵Pa 高真空、100℃ 高温及超高洁净度环境下运行。
应用难点：
1.真空污染：传统碳钢导轨会释气，破坏腔体真空度。 2.颗粒污染：普通润滑脂挥发会污染晶圆。3. 维护困难：滑块与导轨固定连接，难以快速分离维护。
解决方案：
智鑫航真空滚轮导轨
- 超高真空兼容（10⁻⁷Pa）：采用 420C 不锈钢材质，无释气风险，确保真空环境稳定。
- 免润滑与洁净设计：滚轮采用超低发尘油脂（高温释气率低于 0.01%），部分型号支持全干摩擦或固体润滑（如 MoS₂ 镀膜），杜绝油蒸气污染。
- 分体式结构：滚轮与导轨可完全分离，便于设备维护和工装切换，相比传统滚珠导轨大幅提升灵活性
- 耐高温与高精度：特殊热处理工艺确保 100℃~260℃ 高温下不变形；偏心轮预紧设计实现零间隙、高刚性，重复定位精度可达 ≤±0.03mm。
选用智鑫航滚轮导轨的原因:
- 稳定性：长期保持 10⁻⁵Pa 以上真空环境，无释气。
- 洁净度：零颗粒污染，符合 ISO Class 4 级洁净室标准。
- 高效率：分体式设计使工装切换时间缩短 50%，且抗振动性能优异，避免晶圆偏移。
