应用描述:
PEALD 对运动部件的核心要求是“超高真空兼容”和“零有机污染”。
应用难点：
- 真空污染：传统碳钢导轨会释气，破坏腔体真空度。
2.洁净度控制：普通润滑脂挥发会污染晶圆。
解决方案：
智鑫航真空滚轮导轨
- 超高真空兼容（10⁻⁷Pa）：采用 420C 不锈钢材质，无释气风险，确保真空环境稳定。
- 免润滑与洁净设计：滚轮采用超低发尘油脂（高温释气率低于 0.01%），部分型号支持全干摩擦或固体润滑（如 MoS₂ 镀膜），杜绝油蒸气污染。
- 耐磨低粉尘：滚轮线接触结构摩擦系数低（~0.003–0.005），磨损量小于滚珠导轨，产生的金属颗粒极少，适合纳米级洁净环境
- 耐高温与高精度：特殊热处理工艺确保 100℃~260℃ 高温下不变形；偏心轮预紧设计实现零间隙、高刚性，重复定位精度可达 ≤±0.03mm。
选用智鑫航滚轮导轨的原因:
结论：智鑫航的真空高温滚轮导轨是 PEALD 设备的高性价比选择（相比磁悬浮或进口品牌），但绝对禁止使用其普通工业级导轨进行替代。选型时咬定全不锈钢 高温真空这三个关键词，基本可以满足大部分科研及工业级 PEALD 的需求。
